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  • 與半導體制造兼容的硅光子MEMS

    作者:光行天下小萌新譯 來源:物理學家組織網 時間:2023-03-27 13:25 閱讀:429 [投稿]
    一種新技術將光學和微機電系統(MEMS)結合在一個微芯片中,為創建微型3D相機和用于精確空氣質量測量的氣體傳感器等設備鋪平了道路。

    由悉尼大學副教授Niels Quack領導的一個研究小組開發了一種新技術,將光學和微機電系統(MEMS)結合在一個微芯片中,為創建微型3D相機和用于精確空氣質量測量的氣體傳感器等設備鋪平了道路,包括將其用于手機。

    這一新的微制造工藝于發表在《微系統和納米工程》(Microsystems and NanoEngineering)上,它建立在硅光子學的基礎上,并使用半導體制造技術,為光纖通信、傳感器甚至未來的量子計算機提供了新一代更節能的設備。


    新技術可以實現更高效的光纖通信、數據中心和未來的量子計算機。

    航空航天、機械和機電工程學院的Quack副教授說:“光子MEMS的獨特之處在于,它們結構緊湊,功耗很小,速度快,支持廣泛的光載波信號,并且光損耗低!

    Quack說:“這是納米機電致動器首次集成在標準硅光子學技術平臺中。這是邁向成熟的大規模、可靠的集成MEMS光子電路的重要一步。這項技術正在為大批量生產做準備,在自動駕駛汽車的3D成像或新的光子輔助計算方面有潛在的應用!

    他說:“目前的類似技術消耗大量功率,占用芯片上的大面積。它們的光學損耗也很高。這使得在單個芯片上集成大量組件具有挑戰性。我們的硅光子MEMS技術克服了這些缺點,為光子集成電路的有效擴展提供了一條途徑!

    這項技術將推進微納制造、光子學和半導體領域的知識,具有廣泛的應用。其中包括自動駕駛汽車中激光雷達3D傳感的光束轉向、可編程光子芯片或量子光子學中的信息處理。

    相關鏈接:https://phys.org/news/2023-03-team-silicon-photonic-mems-compatible.html

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