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    [求助]低溫TI3O5  SIO2。RF輔助鍍膜。膜強度差。什么原因造成? [復制鏈接]

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    離線repent134
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發表于: 2023-03-30
    成膜后破壞鍍膜表層,用擦拭液擦拭膜層延展性比較大
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發表于: 2023-03-30
    這個Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧,建議150℃以上,低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想,如果想低溫成膜,高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 jGJLSEe_  
    離線repent134
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    只看該作者 2樓 發表于: 2023-03-30
    主要SIO2打底層,掉膜也是掉到了基板
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    只看該作者 3樓 發表于: 2023-03-30
    離子源&充氧&電子槍速率方面看下
    離線嚶擊長空
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    只看該作者 4樓 發表于: 2023-03-31
    建議測一下溫度
    離線石前林
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    只看該作者 5樓 發表于: 2023-03-31
    基片是否干凈,擴散泵是否返油,第一層速率及離子源參數 0x'#_G65y  
    離線ouyuu
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    只看該作者 6樓 發表于: 2023-04-08
    1,注意一下清洗,必要手擦幾片做比較。 ADS9DiX/  
    2,鍍膜前用離子源清洗,用質量大的Ar,多打一陣子。 9G9fDG#F\I  
    3,基板如果是玻璃就加到150度以上, ?!;7:VIE  
    如果是塑膠,用鹵素燈加熱(不要用加熱絲) 2w59^"<,  
    #EO9UW5  
    其他的上面的都講過了,其實工藝參數很重要。 &]8P1{  
    如果是塑膠片,加熱很重要
    離線jimmy_
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    只看該作者 7樓 發表于: 02-19
    請教一下為什么加熱不能用加熱絲,光馳機里好像沒有鹵素燈
    離線ouyuu
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    只看該作者 8樓 發表于: 02-20
    回 jimmy_ 的帖子
    jimmy_:請教一下為什么加熱不能用加熱絲,光馳機里好像沒有鹵素燈 (2024-02-19 17:21)  Y<mej][  
    )f}YW/'  
    因為塑膠片導熱不行。 x$IX5:E#e  
    加熱絲最初加熱的是片子背面,熱量靠傳導再到鍍膜面, d{XO/YQw  
    一個是升溫慢,一個是均勻性差。 #cnq(S=.  
    而鹵素燈照射的是鍍膜面,升溫會比較快,而且溫度的均勻度也好。 &QDW9 Mi  
    加熱快的,吸收的水氣出來的也多
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