切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 1507閱讀
    • 8回復

    [求助]低溫TI3O5  SIO2。RF輔助鍍膜。膜強度差。什么原因造成？ [復制鏈接]

    		 上一主題 下一主題
    離線repent134
     
    發(fā)帖
    5
    光幣
    11
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-03-30
    成膜后破壞鍍膜表層，用擦拭液擦拭膜層延展性比較大
     
    分享到
    離線yzhuang
    發(fā)帖
    339
    光幣
    3185
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2023-03-30
    這個Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧，建議150℃以上，低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想，如果想低溫成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 Wlp`D  
    共1條評分 ，光幣+1
    flyinlove79 光幣 +1 - 03-04
    離線repent134
    發(fā)帖
    5
    光幣
    11
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2023-03-30
    主要SIO2打底層，掉膜也是掉到了基板
    發(fā)帖
    37
    光幣
    28
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2023-03-30
    離子源&充氧&電子槍速率方面看下
    發(fā)帖
    67
    光幣
    49
    光券
    0
    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2023-03-31
    建議測一下溫度
    離線石前林
    發(fā)帖
    15
    光幣
    83
    光券
    0
    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2023-03-31
    基片是否干凈，擴散泵是否返油，第一層速率及離子源參數(shù) `!ZkWF6  
    共1條評分 ，光幣+1
    flyinlove79 光幣 +1 - 03-04
    離線ouyuu
    發(fā)帖
    554
    光幣
    3316
    光券
    1
    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2023-04-08
    1，注意一下清洗，必要手擦幾片做比較。 m*v@L4t( 1  
    2，鍍膜前用離子源清洗，用質量大的Ar，多打一陣子。 N8X)/W  
    3，基板如果是玻璃就加到150度以上， B9'2$s+Z;  
    如果是塑膠，用鹵素燈加熱（不要用加熱絲）